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激光技术打开太阳能电池绝缘层
点击次数:622 更新时间:2020-09-21

 激光技术是非常适合用于微结构晶体硅太阳能电池。它使高产出量成为可能,并且可靠地集成到生产线上。它是经济实惠的和相对高产量的,相对于其它方法如掩蔽或电子束加工。另外的优点是无接触能量耦合,柔性光束传导、精度高、快速定位以及能源送给的准确控制。可避免材料损失,破损率降到最低。在制作太阳能电池时,主要焦点是选择性、非破坏性地移除AlOx和氧SiOx或SiN钝化层。它可以通过一个点或线的形式来实现。采用圆点形式,各个点的尺寸在 80μm和150μm之间,可根据客户要求,各个点之间的间隔距离位于0.4mm和1mm。而线形式,线宽大多数情况在30μm和120μm之间。线间隔距离根据不同应用一般在0.7mm和1.5mm之间。晶圆的背面成功构建后采用网印接触。

  如何选择不同的激光源,从纳秒激光器到超短脉冲激光器,是取决于客户在质量、产出量、投资成本上的需求。扫描振镜的工作区大于160×160㎜2,可用于加工156㎜×156㎜的晶片;

  纳秒激光器接触开口

  纳秒激光器的优点主要集中在产出量和成本效率方面。然而,相对于超短脉冲激光,由于纳秒激光器的脉冲宽度,更多的热量被输送到材料中。在综合初步调查时,被测试的激光光源脉宽范围在5ns至100ns。按规定,激光器的平均功率为10W至200W,运行频率范围在20kHz至500kHz之间。扫描速度和脉冲能量也不同。这两种532nm与红外(1064nm)波长的加工最终证明是成功的。然而,在工业应用中,有着高重复率的红外激光被优先考虑,因为它同时拥有采购、维护成本和功率上的优势,最高加工速度可达15000毫米每秒

  激光诱导加热的热影响区是可被检测的。多余的能量输入会导致晶体结构融化和损坏,反过来又会影响到局部掺质比。这种影响可以导致带电粒子再复合的增加,从而导致太阳能电池的性能退化。这就是为什么最佳的开口行为必须根据客户需要进行评估,以背侧钝化的优点优化晶体结构损坏。然而,多年的激光技术经验,加工工艺,开发加工发展的紧密合作,使得采用可靠激光参数以实现所需的高效加工成为可能。


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